流体テクノ室では、都水を原水として不純物(微粒子、残留塩素、イオン分、有機物、微生物など)を取り除きイオン交換水(一次純水)を製造しています。イオン交換水は配管を通して各研究室に供給されるほか、超純水製造装置の前処理水としても供給されています。
また、年に一度、業者による定期点検でイオン交換水製造装置の水質分析を行い、製造装置の管理基準値(装置の保証値)を十分に満たすことを確認しています。
イオン交換水水質検査の結果(2017/10/17実施)