所内に供給している窒素ガスは、液体窒素を蒸発器に通して気化させることで製造しており、現在の供給源の圧力は、0.7 MPa前後となっています(使用状況により多少脈動します)。
流体テクノ室でも窒素ガスの露点を常時モニタリングしており、Dp < -76℃ となっております。
参考(2024/12/6分析)
窒素純度 ≧ 99.9995%、O2 ≦ 0.1 ppm、露点 ≦ -76℃ (メーカー出荷時)