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ヘリウム関連設備
ヘリウム液化用圧縮機（DSD205）
ヘリウムガス回収圧縮機_No.1
（50 N㎥/h）
ヘリウムガス回収圧縮機_No.2
（50 N㎥/h）
高圧ガスドライヤー
（露点 -65℃以下）
回収ガスバッグ（25 ㎥）
液体ヘリウム貯槽（2500 L）
ヘリウム液化機（L140）
ヘリウムバッファタンク
（10 ㎥）
液体ヘリウムの充てん
不純ガス長尺カードル
（2085 ㎥ (at 14.7 MPa)）
液体窒素および窒素ガス関連設備
液体窒素貯槽
（11000 L × 2基）
液体窒素蒸発器
液体窒素自動供給装置
イオン交換水関連設備
イオン交換水製造装置
イオン交換樹脂塔
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