Research

Article​

1. 道畑正岐：平面ステージの軸直交性を補償する対角グレーティングスケールによる計測システム，ツールエンジニア，no. 7 (2025) pp.77-82.
   https://www.taigashuppan.co.jp/products/detail/624

2. 道畑正岐：蛍光を用いた機械加工のナノインプロセス計測，計測と制御，vol. 64, no. 6 (2025) pp. 367-373.
   https://doi.org/10.11499/sicejl.64.367

3. 道畑正岐：ナノCMMのための光放射圧プローブに関する研究，精密工学会誌，vol. 81, no. 2 (2015) pp. 143-145.
   https://doi.org/10.2493/jjspe.81.137

4. 高谷裕浩，林 照剛，道畑正岐：全方位角度分解散乱光計測による加工表面性状解析技術，精密工学会誌，vol. 80, no. 6 (2014) pp. 514-518. https://doi.org/10.2493/jjspe.80.514

5. 高谷裕浩，林 照剛，道畑正岐：マイクロトレンチ構造の比較測定に基づく表面微細形状計測技術の特性評価，型技術，vol. 28, no. 7 (2013) pp. 104-105.  https://pub.nikkan.co.jp/book/b10022337.html

​Talks

6. Masaki Michihata, Motoya Yoshikawa, Saeko Fujii, Shuzo Masui, Satoru Takahashi: "3-dimensional measurement based on laser induced fluorescence," the 16th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2025), May 25th-28th, 2025, Wuhan, China (予定)

7. 道畑正岐, 増井周造, 高橋 哲："レーザー励起蛍光を用いた難計測構造の三次元形状計測"，2019年度精密工学会春季大会学術講演会 プロフェッショナルセッション「知的精密計測の最前線 −新たなレーザー応用計測の可能性−」，千葉工業大学（2025）

8. 道畑正岐：先端加工技術のためのナノインプロセス計測，NMIJ 計測クラブ 長さクラブ・CMM ユーザーズクラブ合同講演会，産業技術総合研究所（2024）

9. 道畑正岐：Laser Induced Fluorescence (LIF) を用いた三次元形状計測への新たな展開，将来技術研究会，日本大学 (2024)

10. 道畑正岐：ナノ形状計測における表面位置センシングの重要性と新たな試み，精密工学会 知的ナノ計測専門委員会，東京大学（2024）

11. Masaki Michihata: “Diameter Measurement of sub-micrometer optical fiber based on interference signal of Mie scattered light”, Proc. International Symposium on Optomechatronic Technology (ISOT) 2023, 10-12 December 2023, Nasu, Tochigi, Japan.

12. Masaki Michihata: "Ultra-sensitive optical resonance in micro-sphere used for dimensional measurement", The International Congress on Pure & Applied Chemistry (ICPAC) Kota Kinabalu 2022, Sabah, Malaysia.

13. 道畑正岐：光共振を用いた球体寸法の超高精度計測，精密工学会 超精密位置決め専門委員会 センサ小委員会，オンライン（2022）

14. 道畑正岐，門屋祥太郎，高橋 哲：光共振を用いた幾何形状計測，COMSOL Conference，オンライン（2020）

15. 道畑正岐：ナノCMMプローブ技術に関する最新技術開発動向，精密工学将来構想研究会，大阪（2019）

16. 道畑正岐：光放射圧プローブを用いたマイクロスケール3次元形状計測，2019年度精密工学会学術講演会秋季大会，静岡大学（2019）pp. 552-553, L33.

17. 道畑正岐：微小球光共振を用いた形状標準のナノ精度計測，第153回微小光学研究会「微細加工・操作の微小光学」，日本女子大学（2019），Microoptics news vol. 37, no. 3 (2019) pp. 35-40.

18. 道畑正岐，小林夢輝，趙 正，儲 博懐，高増 潔，高橋 哲：光共振を利用したマイクロ球形状のナノ精度計測，レーザー学会第39回年次大会，東海大学（2019）E414aIV05

19. Masaki Michihata, Yumeki Kobayashi, Zheng Zhao, Bouhai Chu, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi: “Ultra high precision diameter measurement of a microsphere based on whispering gallery mode resonances”, The 1st JSPE affiliate workshop -Metrology and measurement, 12 November 2018, Kamakura, Japan.

20. Masaki Michihata, “Dielectric microsphere measurement using whispering gallery mode resonance", 10th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrument (ISPEMI 2018), 8-10 August 2018, Kunming, China.

21. Masaki Michihata, "Measurement of a microsphere diameter with a picometer resolution using whispering gallery mode resonances", International Symposium on Optoelectronic Technology and Application (OTA 2018), 22-24 May 2018, Beijing, China.

22. 道畑正岐，儲 博懐，高増 潔，高橋 哲：微小球共振の光波長スペクトルを用いたマイクロ球計測評価技術の研究，2017年度精密工学会北陸信越支部学術講演会，富山大学（2017）

23. 道畑正岐，川㟢彬史，足立 篤，高谷裕浩：”超高精度WGM応用マイクロ球測定の新展開” ，2015年度精密工学会学術講演会秋季大会ユネスコ国際光年記念シンポジウム「知的ナノ光計測の新展開」，東北大学（2015）pp.72-74.

24. Masaki Michihata, Laser trapping and whispering gallery mode for micro-scale metrology, Research seminar, 4 December 2013, National Physical Laboratory, Teddington, UK (2013)