[35] 미국출원 (US): 19/752,442 (2026.07.23) 배관 평가 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템 (삼성전자 공동출원)-[32 family]

[34] 국내출원 (KR): 10-2026-0000178 (2026.01.02) 부식성 가스용 공압 밸브의 내구성 평가 시스템 및 그 방법 (삼성전자 공동출원)

[33] 국내출원 (KR): 10-2026-0000179 (2026.01.02) 고부식 가스 환경 하 레귤레이터 내구성 평가 시스템 및 시험 방법 (삼성전자 공동출원)

[32] 국내출원 (KR): 10-2025-0201707 (2025.12.17) 배관 평가 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템 (삼성전자 공동출원, 미국출원진행)

[31] 국내출원 (KR): 10-2025-0201683 (2025.12.17) 부식 평가 시스템 (삼성전자 공동출원)-[35 family]

[30] 국내출원 (KR): 10-2025-0107061 (2025.08.04) 플라즈마 발생공간에서 쉬스 두께 도출 시스템 및 이를 이용한 쉬스 두께 도출방법 

[29] 국내등록 (KR): 10-2025-0081963 (2025.06.20) CycleGAN 모델 기반 플라즈마 광진단 정확도 개선 장치 및 방법

[28] 국내출원 (KR): 10-2025-0081962 (2025.06.20) DIC와 OES 복합 진단을 통한 머신러닝 기반 ONO공정 종료 시점 파악 장치 및 방법 (리뷰-1차)

[27] 국내출원 (KR): 10-2024-0071155 (2024.05.30) 플라즈마 공정의 종료시점 감지 계측시스템 (리뷰-2차)

[26] 국제출원 (PCT): PCT/KR2024/095527 (2024.03.14) PLASMA DETECTING APPARATUS MOUNTED AT WINDOW-[23 family]

[25] 국제출원 (PCT): PCT/KR2023/010354 (2023.07.19) THIN-FILM ULTRA HIGH FREQUENCY DETECTOR FOR DETECTING PLASMA AND PLASMA DETECTING MODULE HAVING THE SAME-[22 family]

[24] 국내등록 (KR): 제10-2860007 (2025.09.10) 가시창 거치형 플라즈마 진단장치 

[23] 국내등록 (KR): 제10-2909681 (2026.01.05) 플라즈마 진단용 박막형 초고주파 진단기  / 기술이전 (주식회사 노보) 

[22] 국제출원 (PCT): PCT/KR2023/002055 (2023.02.13) PATCH TYPE PLASMA DETECTING APPARATUS AND PLASMA DETECTING MODULE HAVING THE SAME-[18 family]

[21] 국내등록 (KR): 제10-2732381 (2024.11.15) 박막 안테나형  플라즈마 진단장치 및 이를 포함하는 플라즈마 진단모듈-[24 family] / 기술이전 (주식회사 더블유지에스)

[20] 국내등록 (KR): 제10-2726944 (2024.11.01) 일체형 플라즈마 진단장치 / 기술이전 (주식회사 더블유지에스)

[19] 국내등록 (KR): 제10-2769853 (2025.02.13) 패치형 플라즈마 진단장치 및 이를 포함하는 플라즈마 진단모듈-[21 family] / 기술이전 (주식회사 더블유지에스)

[18] 국내등록 (KR): 제10-2867440 (2025.09.26) 플라즈마 반응 장치

[17] 미국출원 (US): 18/879113 (2024.12.26) THIN FILM ULTRA-HIGH FREQUENCY DIAGNOSTIC DEVICE FOR PLASMA DIAGNOSIS AND PLASMA DIAGNOSTIC MODULE COMPRISING SAME

[16] 미국등록 (US): 12,129,547 (2024.10.29) METHOD FOR PRODUCING OCTAHEDRON TRANSITION METAL DICHALCOGENIDES USING PLASMA -[7 family] 

[15] 미국등록 (US): 11,735,417 (2023.08.22) HETEROJUNCTION MATERIAL AND PREPARING METHOD OF THE SAME-[9 family] / 기술이전 (미국특허회사 직수입)

[14] 미국등록 (US): 11,508,576 (2022.11.22) METHOD FOR PRODUCING TRANSITION METAL DICHALCOGENIDE-GRAPHENE HETERO JUNCTION COMPOSITE USING PLASMA-[8 family]

[13] 국내등록 (KR):제10-2657149 (2024.04.08) 플라즈마 진단 시스템

[12] 국내등록 (KR):제10-2581832 (2023.09.19) 두께가 제어된 금속-칼코게나이드 박막의 제조방법

[11] 국내출원 (KR): 10-2021-0101771 (2021.08.03) 이종접합 소재 및 이의 제조 방법 (리뷰-2차)

[10] 국내출원 (KR): 10-2020-0063984 (2020.05.28) 플라즈마를 이용한 전이금속 디칼코게나이드-그래핀 이종접합 복합체 제조 방법 (리뷰-3차)

[9] 국내등록 (KR): 제10-2322800호 (2021.11.01) 플라즈마를 활용한 대면적 이황화몰리브데넘-이황화텅스텐 박막형 이종접합구조의 제작방법-[15 family]

[8] 국내등록 (KR): 제10-2434399호 (2022.08.16) 플라즈마를 이용한 전이금속 디칼코게나이드-그래핀 이종접합 전극 제조 방법-[14 family]

[7] 국내등록 (KR): 제10-2387536호 (2022.04.08) 플라즈마를 이용한 팔면체 전이금속 디칼코게나이드 제조 방법-[16 family]

[6] 국내출원 (KR): 10-2016-0081457 (2016.06.29) 금속 칼코게나이드 박막의 두께 제어 방법 (등록거절)

[5] 국내출원 (KR): 10-2015-0129448 (2015.09.14) 플라즈마를 이용한 멸균방법 (등록거절)

[4] 국내등록 (KR): 제10-1797353호 (2017.11.07) 직렬로 배열된 광섬유를 이용한 힘 센서, 이의 제조방법, 이를 포함하는 의료기기

[3] 국내등록 (KR): 제10-1797352호 (2017.11.07) 광섬유와 모세관을 이용한 힘 센서, 이의 제조방법, 이를 포함하는 의료기기

[2] 미국출원 (US): 14/565,885 (2014.12.10) METAL CHALCOGENIDE THIN FILM AND PREPARING METHOD THEREOF (등록거절)

[1] 국내등록 (KR): 제10-1529788호 (2015.06.11) 금속 칼코게나이드 박막 및 그 제조방법