[10] 산학연계 프로젝트랩 -과제책임자

과제명: HfCl4 전구체를 이용한 2차원 반도체용 고품질 HfO2 ALD 증착 최적화 실험

기간: 2026.04.01-2026.08.31 (4개월)

과제비: 5,000,000원 (KRW)

[8] 미래 KIMM-FBO사업-과제책임자

과제명: 첨단 반도체 공정을 위한 AI기반 다중 진단 융합형 실시간 플라즈마 공정 인텔리전스 프레임워크

기간: 2026.04-2030.12 (57개월)

과제비: 1,000,000,000원 (10억 KRW)

과제번호: KN044A (1년차) 

[7] 기본사업-주관 참여

과제명: 첨단 칩렛 시스템 반도체 패키징 장비 혁신기술 개발

기간: 2025.01-2030.12 (72개월)

과제비: 24,000,000,000원 (240억 KRW)

과제번호: NK254A (1년차) NK261D (2년차)

[6] 탄소중립산업핵심기술개발사업-주관 간사

과제명: 디스플레이용 고GWP 가스 20%이상 저감을 위한 공정 및 잔류가스 모니터링 기술 및 공정효율화 시스템 개발

기간: 2023.07.01-2028.12.31 (66개월) 

과제비: 10,834,574,000원 (108억 KRW)

사사번호: TIP RS-2023-00264860 

과제번호: MT5250 (1년차) MT5880 (2년차) MT7810 (3년차) MT8870 (4년차)

[5] 반도체 인력양성과제-과제책임자

과제명: 저온 플라즈마 기반의 합성/식각 공정을 통한 차세대 2D반도체 형상제어 및 원자층 층 수 조절과 나노결정성/패터닝을 이용한 다양한 전기적특성 연구

기간: 2023.04.01-2027.12.31 (57개월) 

과제비: 1,500,000,000원 (15억 KRW)

사사번호: MOTIE 1415187508, TIP 20024772 

과제번호: MT5250 & MT525A (1년차) MT5500 & MT550A (2년차) MT7240 & MT724A (3년차) MT9540 & MT954A (4년차)

[2] 기본사업-주관 간사 (1단계 1-3차년), 주관 참여 (2단계 4-6차년)

과제명: 반도체, 디스플레이산업 핵심공정용 플라즈마 장비 기반 원천 기술개발

기간: 2021.01-2026.12 (72개월)

과제비: 12,500,000,000원 (125억 KRW)

과제번호: NK230F (1년차), NK236F (2년차), NK242F (3년차), NK248E (4년차), NK254B (5년차), NK261G (6년차)

[21] 탄소중립산업핵심기술개발사업-주관 참여

과제명: 탄화수소 플라즈마 분해 신공정 개발

기간: 2023.07.01-2028.12.31 (53개월)

과제비: 34,201,894,000원 (342억 KRW)

과제번호: MT5290 (1년차), MT5630 (2년차), MT7250 (3년차)

[20] 기업수탁사업 (삼성글로벌인프라)-주관 간사

과제명: 실가스 평가 시스템 구축

기간: 2024.11-2026.03 (17개월)

과제비: 1,319,000,000원 (13억 KRW)

과제번호: IN9610

[18] CNU RISE지원사업-출연연 연계 얼라이언스-주관 참여

과제명: 차세대 반도체 지능화 공정 얼라이언스

기간: 2025.09-2025.12 (4개월)

과제비: 10,000,000원 (KRW)

사사: This research was supported by the 2025 Daejeon RISE Project (DJR2025-12), funded by the Ministry of Education and Daejeon Metropolitan City, in the Republic of Korea.

[17] 기업수탁사업 (삼성글로벌인프라)-주관 참여

과제명: 인프라 부품 수명 가속 평가 방법 개발

기간: 2024.11-2025.12 (13개월)

과제비: 152,000,000원 (1.5억 KRW)

과제번호: IN9620

[16] 대한전자공학회-차세대 리더 컨소시엄-주관 참여

과제명: 신소재 기반 뉴로모픽 소자 및 시스템 연구단

기간: 2024.06-2025.11 (6개월)

과제비: 5,000,000원 (KRW)

[15] 산학연계 프로젝트랩 -과제책임자

과제명: 반도체 플라즈마 식각 지능화 공정

기간: 2025.04.01-2025.08.29 (4개월)

과제비: 6,000,000원 (KRW)

[14] 학부생 산학연구 참여 프로그램 (UROP) -과제책임자

과제명: 기계학습을 이용한 반도체 생산 에칭 공정 예측

기간: 2025.04.01-2025.07.18 (3개월)

과제비: 5,000,000원 (KRW)

[13] 제조기반생산시스템-세부 참여

과제명: 곡면 입체형상 3D SiP 패키지 다축 조립시스템 개발

기간: 2022.05-2026.12 (56개월)

과제비: 14,745,000,000원 (147억 KRW)

과제번호: MT3750 (1년차), MT4140 (2년차)

[12] 원천연구개발사업-세부 참여

과제명: 폐유기용제의 C2 전환공정 시스템 개발

기간: 2023.05-2025.04 (24개월)

과제비: 1,500,000,000원 (15억 KRW)

과제번호: GG3320 (1년차), GG3330 (2년차)

[11] 플라즈마활용 폐유기물 고부가가치 기초 원료화 기술개발사업-주관 참여

과제명: 전환공정 플랫폼 및 고상전환 시스템 개발

기간: 2022.08-2025.03 (32개월)

과제비: 7,450,000,000원 (74억 KRW)

과제번호: NB1790 (1년차), NB1910 (2년차), NB2550 (3년차), NB3210 (4년차)

[10] 창의·도전형 과제-과제책임자

과제명: 미래반도체용 초정밀 플라즈마 식각 데이터지능화(AI) 장비기술 개발

기간: 2024.04.01-2024.12.31 (8개월)

과제비: 249,024,000원 (2.4억 KRW)

과제번호: NK251E

[9] 기본/자체연구사업-주관 참여

과제명: 반도체 장비 R&D 전략수립 및 기반 구축

기간: 2024.04.01-2024.12.31 (9개월)

과제비: 310,000,000원 (3.1억 KRW)

과제번호: KN032B

[8] 산학연계 프로젝트 -과제책임자

과제명: 2D 반도체 플라즈마 원자층 수준 무손실 합성/식각

기간: 2024.08.01-2024.10.31 (3개월)

과제비: 6,000,000원 (KRW)

[7] 융합클러스터사업-주관 참여

과제명: 실시간 공정 진단 및 유무기 화학반응 설계 기반 초미세 반도체 채널용 2차원 신소재 증착/에칭 저온 공정 기술 개발 융합클러스터

기간: 2022.09-2024.08 (24 개월)

과제비: 100,000,000원 (KRW)

과제번호: MSIT (No.CCL222231-100)

[6] 제조기반생산시스템-주관 참여

과제명: 울란바타르 대기오염 개선을 위한 노후버스용 DPF 기술 개발 및 실증

기간: 2021.07-2024.06 (36개월)

과제비: 470,000,000원 (4.7억 KRW)

과제번호: NB1200 (1년차), NB1770 (2년차), NB2390 (3년차)

[5] 중소기업기술개발지원사업-주관 간사

과제명: 반도체/디스플레이 공정 in-situ 모니터링 TOF-MS 국산화

기간: 2022.04-2024.3 (24 개월)

과제비: 100,000,000원 (KRW)

과제번호: AI3980 (2년차), Stop (3년차)

[4] 중견기업-공공연구기관 공동기획-주관 참여

과제명: 반도체 식각장비 업사이클링 기술개발 공동기획

기간: 2023.08.01-2023.11.30 (4개월)

과제비: 7,000,000원 (KRW)

과제번호: GM5220 

[3] 국가연구개발사업-주관 참여

과제명: 특수차량 PM저감 신기술 실증 및 NOx 저감 신기술 개발

기간: 2019.09-2022.03 (43개월)

과제비: 4,044,411,403원 (40억 KRW)

과제번호: NB0150 (1년차), NB0430 (2년차), NB1020 (3년차)

[2] Young Frontier (영 프론티어)-과제책임자

과제명: 플라즈마 공정을 통한 2차원 반도체 물질 원자층 정밀 제어 및 공정예측 모델 구축

기간: 2022.04-2023.03 (12개월)

과제비: 30,000,000원 (KRW)

과제번호: KN021G

[1] Basic Research (기본연구)-과제책임자 

과제명: 플라즈마를 이용한 형상별 대면적 2차원 나노소재와 이종구조 합성 및 전기화학적 응용

기간: 2018.06-2021.05 (36 개월)

과제비: 150,000,000원 (1.5억 KRW)

과제번호: RS-2018-R1D1A1B07040292