파크시스템 afm 신형 모델 장비 도입
2026.09.01
Embedded Files
AX가속화연구단 킥오프 미팅
AX혁신팀 팀장 겸직: 김형우 박사
2026.07.10
"AI 반도체 플라즈마 기반 통합 공정 기계연 2D 반도체 지능화 시스템 개발"
"기계연, AI기반 차세대 2D 반도체 공정 기술 개발"
"반도체 공정 스스로 분석,예측...기계연, AI 통합 플랫폼 구현"
"AI Semiconductor Plasma-Based Integrated Process KIMM Develops Intelligent System for 2D Semiconductor Manufacturing"
(2026.06)
이화여대 NRL 2.0 한국기계연구원 내방
이화여대 국가연구소(NRL) 2.0 문회리 소장님 방문 및 랩투어
KIMM 반도체장비연구센터 랩투어
2025.12.17
2025 KIMM스쿨 송년의 밤
사회: 김형우 박사
초청연사: 엄태웅 ("대학원생 때 알았더라면 좋았을 것들")
2025.12.10
NST주관-대만 NIAR 한국기계연구원 내방
National Institutes of applied research (NIAR)
KIMM 반도체장비연구센터 랩투어
2025.10.30
성균관대 기계공학부 학연교수 임용
KIMM-SKKU 학연교수
임기: 2025.10.01~2028.09.31
송영훈 박사님 퇴임식
39년간 근무하신 송영훈 박사님
KIMM 반도체장비연구센터
-2025.06.23
"NST 김영식 이사장, 기계연 방문...신진연구자들과 함께 기계기술 발전의 길을 열다"
류석현 원장, 주요 간부진, 신진연구자 (김형우 박사) 외 총25명
한국기계연구원
-2024.12.02
"기계연, 4인치 이종구조 웨이퍼 개발 성공"
"플라즈마 장비로 저전력, 고성능 반도체 제작"...기술개발
"기계연, AI반도체 성능 혁신 이끌다"...플라즈마 기반 이종구조 4인치 웨이퍼 제작 기술 최초
(2024.11)
김관태 박사님 퇴임식
41년간 근무하신 김관태 박사님
(구) 플라즈마연구실
(현) 반도체장비연구센터
-2024.05.27
한국기계연구원 2023 연보
"차세대 2차원 반도체 플라즈마 대면적, 무손실 식각 기술"
UST 조교수 임용
-Korea National University Science & Technology (UST)
-융합기계시스템, 나노메카트로닉스 전공
-2024.03.01
2024 조직개편 (실에서 센터로 변경)
'플라즈마 연구실'에서 '반도체장비연구센터 (Semiconductor Manufacturing Research Center)'로 변경
-2024.02.07
-한국기계연구원
2023 EAPETEA-9
Plasma for Carbon Neutrality and Sustainable Society
지역 조직 위원 (Local Organizing Committee)
-Invited Speaker
-2023.11.30-12.02
제주, 라마다 호텔
[LINK]
"MoS2 4인치 대면적 원자층 식각 기술" 아트워크 (Arti 4회 홍보)
Project Goal: Atomic layer control for 4-in MoS2 by Mixed gas Plasma via RIE
Core Technology
-Optimization of Three mixed gas plasma by using RIE
-High-purity atomic layer control of 4-in MoS2 via Plasma techniques
-Cyclic Plasma etch able to etch one by one layer without damage and impurities
-Layer control mechanism was firstly calculated by density functional theory (DFT)
-Etched 4-in MoS2 shows high-uniformity with Angstrom level by confirming Ellipsometer
*Designed by Arti
"기계연, 차세대 이황화 몰리브덴 반도체 대면적 식각 기술 개발"
"크기 줄이고 성능 높인 차세대 반도체 기술 개발"
"신소재로 크기 줄이고 성능 높인 반도체 기술 개발"
(2023.06)
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한국기계연구원 2022 연보
"반도체-디스플레이 산업 핵심공정용 플라즈마 장비 기반원천 기술"
-우수논문발표
김태성 교수 (지도교수님)_리더연구 선정 (2022.06)
"저온 플라즈마 기반 이차원소재 특성제어 연구도 이뤄진다. 김태성 성균관대 교수는 플라즈마-이차원소재-나노소자 특성의 상관관계를 정립해 차세대 이차원 소재 활용에 문제점이었던 낮은 수율, 고온공정을 극복하겠다는 계획이다. 9년의 연구기간 동안 72억2000만원의 연구비가 투입된다." [LINK]
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