Quá trình chế tạo một con chip máy tính hoặc điện thoại rất phức tạp, kéo dài nhiều tháng và trải qua hàng trăm công đoạn. Dưới đây là tổng quan về các bước chính để hoàn thiện một con chip:
Các kỹ sư thiết kế kiến trúc chip (CPU, GPU, RAM, NAND Flash...) bằng phần mềm như Cadence, Synopsys, Mentor Graphics.
Sử dụng VHDL hoặc Verilog để mô phỏng và kiểm tra logic của chip.
Tạo sơ đồ bố trí (Layout) và chuẩn bị bản thiết kế để sản xuất trên wafer silicon.
Tạo wafer:
Dùng phương pháp Czochralski để tạo ra các thanh silicon tinh khiết, sau đó cắt thành lát mỏng (wafer).
Xử lý bề mặt:
Đánh bóng và phủ lớp oxit silicon để chuẩn bị cho quá trình chế tạo vi mạch.
Quang khắc (Photolithography):
Lớp photoresist được phủ lên wafer.
Chiếu tia EUV (Extreme Ultraviolet Lithography) hoặc DUV (Deep Ultraviolet Lithography) qua mặt nạ để khắc mạch.
Rửa bỏ phần không cần thiết để lộ ra các đường mạch điện.
Ăn mòn (Etching):
Dùng hóa chất hoặc plasma để loại bỏ silicon, tạo các rãnh vi mạch.
Cấy ion:
Bắn ion (như boron, phosphorus) vào silicon để tạo ra các vùng bán dẫn P/N cho transistor.
Lắng đọng vật liệu:
Phủ các lớp vật liệu như silicon dioxide (SiO₂), kim loại (Cu, Al) để tạo điện cực và cách điện giữa các tầng.
Các tầng dây dẫn bằng đồng (Cu) hoặc nhôm (Al) được thêm vào để kết nối các transistor.
Dùng phương pháp Chemical Mechanical Polishing (CMP) để làm phẳng bề mặt giữa các lớp.
Dùng máy Probe Station để kiểm tra các vi mạch trên wafer.
Đánh dấu những chip lỗi để loại bỏ trong bước sau.
Wafer được cắt bằng laser hoặc lưỡi cưa kim cương để tách thành từng die (chip nhỏ).
Chip được gắn vào substrate (đế mạch).
Dùng wire bonding hoặc flip-chip để kết nối chip với chân dẫn điện.
Phủ lớp bảo vệ epoxy để chống bụi, độ ẩm.
Kiểm tra chức năng (Functional Test): Đảm bảo chip hoạt động đúng.
Kiểm tra nhiệt độ (Burn-in Test): Chạy thử trong môi trường khắc nghiệt để kiểm tra độ bền.
Phân loại (Sorting): Chia chip thành các nhóm theo hiệu suất (ví dụ: CPU Core i3, i5, i7 có thể đến từ cùng một wafer nhưng được phân loại theo xung nhịp).
Các chip đã hoàn thiện sẽ được lắp vào bo mạch chủ (Mainboard), điện thoại, máy tính....
Kiểm tra lần cuối trước khi đưa ra thị trường.
Thiết kế vi mạch
Sản xuất wafer silicon
Khắc mạch bằng quang khắc
Cấy ion & Lắng đọng vật liệu
Tạo kết nối giữa các lớp
Kiểm tra wafer
Cắt wafer thành chip
Đóng gói
Kiểm tra lần cuối
Lắp ráp vào thiết bị
Quá trình này có thể kéo dài từ 3 đến 6 tháng và đòi hỏi công nghệ cực kỳ chính xác. Các hãng lớn như TSMC, Intel, Samsung, GlobalFoundries đang không ngừng cải tiến quy trình này để sản xuất chip nhỏ hơn, mạnh hơn và tiết kiệm điện hơn.