Patent

등록

금속촉매를 이용한 화학적 식각 방법 

오정우, 김경환, 최선혜, 이항림 (세메스), 김민영(세메스)

등록 TBD (2025.08)

출원 10-2022-0179705  (2022.12.20)

산화물 위에 저마늄 박막을 증착하는 방법

오정우, 봉해균, 장윤서, 김경환

등록 10-2807048 (2025.05.08) DOI

출원 10-2023-0090707 (2023.07.12)

저반사 고전도성 표면을 가진 금속-반도체 구조를 이용한 쇼트키 다이오드 및 이의 제조 방법 

오정우, 김경환, 기부근, 최거락

등록 10-2481446 (2022.12.21) DOI

출원  10-2020-0095741  (2019.07.31) 

전기화학적 물질 반응의 영역제한을 이용하는 패턴 형성 장치 및 방법 

오정우, 기부근

등록 10-2242524  (2021.04.14) DOI

출원 10-2019-0067438  (2019.06.07)

Apparatus and method for etching substrate, stamp for etching substrate and method for manufacturing the same 

Jungwoo OH, Bugeun KI, Yunwon SONG, Keorock CHOI, Kyung Ho Kim 

등록 US9911615B2 (2018.03.06) link

출원 US Patent App. 14/800,456 (2015.07.15)

기판 식각 방법 및 장치, 기판 식각용 스탬프 및 이의 제조 방법

오정우, 기부근, 송윤원, 최거락, 김경호

등록 10-1645533 (2016.07.29)  DOI

출원 10-2014-0091222 (2014.07.18) 

이종 결합 구조를 포함하는 임베디드 기판 및 그 제조 방법 

오정우, 기부근

등록 10-1906000 (2018.10.01) DOI

출원 10-2016-0151801 (2016.11.15)  

METHOD FOR ETCHING SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICES

Jungwoo Oh, Yunwon Song, Bugeun Ki, Keorock Choi

등록 US9437441B2 (2016.09.06) link

출원 US Patent App. 14/835,513  (2015.08.25)

기판 식각 방법

오정우, 송윤원 , 기부근, 최거락

등록 10-1620981 (2016.05.09) DOI

출원 10-2014-0155921 (2014.11.11)  

반도체 구조 제조 방법 및 기판 식각 방법

오정우, 최거락, 송윤원

등록 10-1680070 (2016.11.22) DOI 특허증

출원 10-2015-0056086 (2015.04.21)  

무인 비행체의 무선 전력 공급 시스템 및 무선 전력 공급 방법

오정우, 기부근, 송윤원 

등록 10-1633675 (2016.06.21) DOI

출원 10-2014-0023325 (2014.02.27) 

출원

강유전체 필름의 제조 방법 및 강유전체 필름

오정우, 정도환, 한상오

출원 10-2025-0063033 (2025.05.15)

박막 트랜지스터 및 그 제조 방법

오정우, 장윤서, 권장연, 이세인

출원 10-2025-0049374 (2025.04.16)

Method for Germanium etching

OH Jungwoo, Bong Haekyun

US Patent App. 19/219,627 (2025.06.05)

고종횡비 산화 베릴륨 나노로드 및 이의 제조방법 

오정우, 장윤서, 김지원, 박지현 

출원 10-2024-0173699 (2024.11.28)

게르마늄 식각 방법 

오정우,봉해균 

출원 10-2024-0070621 (2024.05.30)

결정성 채널층을 포함하는 반도체 소자 및 이의 제조방법

오정우, 장윤서, 봉해균

출원 10-2024-0063252 (2024.05.14)

Chemical etching method using a metal catalyst

OH Jungwoo, KIM Kyunghwan, CHOI Sunhae, LEE Hanglim (세메스), KIM Minyoung (세메스)

US Patent App. 18/391,618 (2023.12.20)

Chemical etching method using a metal catalyst

OH Jungwoo, KIM Kyunghwan, CHOI Sunhae, LEE Hanglim (세메스), KIM Minyoung (세메스)

CN Patent App. 202311717034.8 (2023.12.14)

Photodiode with antireflective and high conductive metal-semiconductor structure, method for manufacturing the same, and solar cell comprising the same 

OH Jungwoo, KIM Kyunghwan, KI Bugeun, CHOI Keorock 

Pub. No. US2021/0036171A1

US Patent App. 16/945,300 (2020.07.31) link