ความถูกต้องของการวัด คือ ความใกล้เคียงของการเป็นไปตาม กันระหว่างค่าปริมาณที่วัด ที่ได้ค่าหนึ่งกับค่าปริมาณจริงค่าหนึ่งของสิ่ง ที่ถูกวัดสิ่งหนึ่ง
ความเที่ยงของการวัด คือ ความใกล้เคียงของการเป็นไปตามกัน ระหว่างค่าบ่งชี้ต่างๆ หรือค่าปริมาณที่วัดได้จากการวัดซ้ าๆ ที่กระท า ต่อวัตถุเดิมหรือต่อวัตถุที่ คล้ายกัน ภายใต้เงื่อนไขต่างๆ ที่ถูกระบุ
Standard Reading คือ ค่าที่เครื่องมือมาตรฐานอ่านค่าได้
UUC* Reading คือ ค่าที่เครื่องมือที่น ามาสอบเทียบอ่านได้ (*UUC = Unit Under Calibration)
Repeatability คือ ค่าความแม่นยำที่เกิดจากการทำซ้ำ ๆ ในสภาวะ เดียวกันโดยใช้วิธีเดียวกันในห้องปฏิบัติการเดียวกัน เครื่องมือชุด เดียวกันและผู้วิเคราะห์คนเดียวกัน Reproducibility หมายถึง ค่าความแม่นยำที่เกิดจากการซ้ำ ๆ โดย ใช้วิธีเดียวกัน ผู้วิเคราะห์ต่างกัน เครื่องมือคนละเครื่องกัน และทำใน ห้องปฏิบัติการคนละแห่งกัน
Error = Measured Value - True Value
Correction = True Value - Measured Value