電解放出形走査電子顕微鏡(JEOL JSM-7000F)

高解像度の走査電子顕微鏡。エネルギー分散型X線分析(EDS)と結晶方位解析装置を備えており、nmスケールでの構造の観察と同時に微視的な組成分析や結晶方位の同定ができる。 また、電子ビーム描画装置を備えており、電子線リソグラフィーを行うことができる。

担当：応用物理学部門 トポロジー工学研究室

市村 晃一 (ext.6074) ichimura<at>eng.hokudai.ac.jp