130Kから300Kまでの範囲で温度可変な走査プローブ顕微鏡である。主に、走査トンネル顕微鏡(STM)として使用し、導電性がある試料表面の原子配列が観測できる。さらに、走査トンネル分光により電子状態を調べることができる。なお、最大走査範囲は4µm x 4µmである。 また、プローブヘッドの交換により原子間力顕微鏡(AFM)としても使用できる。
担当:応用物理学部門 トポロジー工学研究室
市村 晃一 (ext.6074) ichimura<at>eng.hokudai.ac.jp