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集束したガリウムイオンビームを照射することにより試料の微細加工を行う。サブミクロンスケールでの切削、切断などの微細加工ができる。
担当：応用物理学部門 トポロジー工学研究室
市村 晃一 (ext.6074) ichimura<at>eng.hokudai.ac.jp
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集束したガリウムイオンビームを照射することにより試料の微細加工を行う。サブミクロンスケールでの切削、切断などの微細加工ができる。
担当：応用物理学部門 トポロジー工学研究室
市村 晃一 (ext.6074) ichimura<at>eng.hokudai.ac.jp