工学部3号館129室 (測定室), 本郷キャンパス測定室には,半導体デバイス(チップ)の基礎的な電気測定の装置があります.プローバステーションが2台あり,大気環境あるいは真空環境で,約4 K (-269℃)から573 K (+300℃)と広い温度範囲で測定を行うことができます.光照射下でも測定が可能であり,ハイパワーの水銀ランプやキセノンランプの単色光照射下で結晶・デバイスの物性・基礎特性を調べることができます.
測定器として,半導体パラメータアナライザーを2台(Keithley 4200-SCS, Keysight B1505A)を所持しています.シンプルな測定系で,高精度な電流-電圧(I-V)測定や容量-電圧(C-V)測定を行うことができます.また,ワイドギャップ半導体・パワーデバイスに特化した装置として,極低周波(~1 mHz)のC-V測定系や高電圧(~3 kV)のI-V測定を行うことができます.また,Hall効果測定用のソースメジャーユニット(SMU)を所持しており,真空プローバと巨大な電磁石を組み合わせて, デバイスにプローブしてHall効果測定を行うことができます(非常に強力な本研究室オリジナルの装置です).上記の装置以外にも様々な装置があります.今後もどんどん導入していきます.