Book

[1] (English) Woo Young Choi, Byung-Gook Park, and Jong Duk Lee,

Fundamentals of Silicon IC Processes (4th ed.), Munundang, 2011.

(한글) 최우영, 박병국, 이종덕, 실리콘 집적회로 공정기술의 기초 (제4판), 문운당, 2011.