儀器名稱:
中文:掃描探針顯微鏡
英文:Scanning Probe Microscope (SPM)
儀器設備廠牌及型號:Bruker Innova
試片規格
樣品尺寸:最大尺寸為 45 mm x 45 mm x 18 mm
掃瞄範圍:90 μm x 90 μm
樣品粗糙度:<2μm
限制使用揮發性及腐蝕性樣品材料。
服務項目:
原子力顯微鏡 (atomic force microscope)
側向力顯微鏡 (lateral force microscope)
Phase imaging
磁力顯微鏡 (magnetic force microscope)
Electric field microscope (電性量測)
掃描穿隧式顯微鏡 (scanning tunneling microscope)
Conductive AFM (電性量測)
掃描式熱梯度顯微鏡 (scanning thermal microscope)
Electrochemical SPM (電化學量測)
Kelvin probe microscopy (surface potential)
掃描電容顯微鏡 (scanning capacitance microscope)
Force modulation microscope
壓電力顯微鏡 (Piezoresponse force microscope)
具備 nanolithography 軟體,可進行奈米尺寸電氧化、壓痕、圖佈......等圖形化實驗。
委託服務僅接受原子力顯微鏡 (atomic force microscope)、側向力顯微鏡 (lateral force microscope) 與 Phase imaging 量測。