冷場發掃描式電子顯微鏡
儀器簡介
冷場發掃描式電子顯微鏡 HITACHI Regulus 8100 FE-SEM
Resolution:
Secondary electron image resolution 二次電子影像解析度
0.7 nm guaranteed (accelerating voltage: 15kV)
0.8 nm guaranteed (accelerating voltage: 1kV)
Magnification
LM mode : 20 to 2,000 x
HM mode : 100 to 1,000,000 x
Electron gun : Cold-cathode field emission source 冷場發射電子源
主要功能：
表面觀察
能量分散光譜儀(EDS)元素分析 (OXFORD/Ultim Max 40)
電子背向散射繞射儀(EBSD) ( OXFORD/Symmertry S3 )
