國立台北科技大學材料與資源工程系

場發射掃描式電子顯微鏡 ( HITACHI Regulus 8100 FE-SEM ) 使用規則及管理辦法

壹、主旨

為使 FE-SEM 維持高性能及持續正常運作，提高其使用效率，並使操作者能正確使用電子顯微鏡，避免不必要之損害，特訂定本使用規則及管理辦法。

貳、辦法

一、使用 FE-SEM 時段分自行操作與委託操作時段，並開放預約，委託操作時段預約以填寫 委託申請單 預約，以安排其時段。

二、自行操作者限有使用執照者，通過考核者始發給使用執照，並僅限該執照所有人操作儀器。

三、自行操作者必須負責該試片所須之操作工作及該時段之儀器維護。

四、操作者務須詳實記錄操作觀察之材料、作業、以及儀器狀況。

五、自行操作者實驗室各執照所有人原則上，每週可預約壹個使用時段，並於一週前向儀器負責技術員登記預約，並填寫申請表。

六、開放時間分為：一般時段為週一至週五上班時間。特殊時段：夜間及假日。

七、操作執照共分二級，A級一般時段及特殊時段操作、B級一般時段操作。

參、施行細則:

一、進入 FE-SEM 實驗室，請將鞋置於鞋架上，穿著室內鞋，室內禁止飲食、吸煙，並保持實驗室整潔。

二、須確定所使用之試片不會有蒸發(高分子或熔點低的材料)，或污染 FE-SEM 腔體，或干擾電子束(磁性材料)之情形，方可放入 FE-SEM 之儀器中，違反相關規定者將限制或取消使用資格。

三、原則上各執照所有人一次可預約一個時段，且預約下一時段時，需在上一時段已完成實驗後方可預約，如需緊急使用請與技術員接洽，並另填申請表辦理。

四、預約時段開始後30分鐘內未到達者(外界委託操作未將試片送達者)，視同放棄使用且費用照計，任何執照所有人得補位使用該時段。

五、試片準備不及欲取消預約者，請於預約日之兩天前提出。預約未到壹次者將限制一個月之使用資格且費用照計，預約累計兩次未到者，將限制三個月之使用資格。

七、使用者需為預約申請單上之人員，不得借用人頭；違反規定者將報請議處，限制或取消使用資格。

八、操作人員具有共同維護儀器之義務，未具執照者請勿自行上機。一旦查獲，視同蓄意破壞公物依校規議處。

九、操作過程如遇斷電、冷卻水過熱之情事，請立即停止動作，先依關機程序關機，並通報管理者處理。

十、使用者不得更改電腦內之任何設定或私自載入任何軟體，檔案資料請以光碟片下載當天取走，技術員將定時清理磁碟。

十一、發現異常的情況要通知技術員並做紀錄，不要自行設法排除。

十二、每次使用後切記將試片從試片座上取出，做完儀器規定的後續動作後，確實填寫儀器使用記錄簿上之各項記錄。

十三、若未詳實記錄設備狀況，而由後致人員發現設備異狀者，前用人員須負起連帶責任進行議處。

十四、使用者由於忽略規定或常識而造成損壞時，報請議處限制或取消使用資格，並需負擔部份的維修費，故意造成損壞者依法究辦。

十五、本辦法由材資系 FE-SEM 管理人員擬定，並經系務會議通過，修正時亦同。