Resolution: 

Secondary electron image resolution 二次電子影像解析度 

0.7 nm guaranteed (accelerating voltage: 15kV) 

0.8 nm guaranteed (accelerating voltage: 1kV) 

Magnification 

LM mode : 20 to 2,000 x

HM mode : 100 to 1,000,000 x 

Electron gun : Cold-cathode field emission source 冷場發射電子源

主要功能：

1. 表面觀察

2. 能量分散光譜儀(EDS)元素分析 (OXFORD/Ultim Max 40)

3. 電子背向散射繞射儀(EBSD) ( OXFORD/Symmertry S3 )