一、申請服務辦法

1. 預約方式：計畫使用者請至科技部預約服務管理系統預約，非計畫使用者請填寫 委託申請單 。(申請單中說明樣品材料、化學成分、晶體結構、製程、樣品製備方法、研究計畫名稱、經費來源)

2. 接受委託操作者須在場操作、說明及協助。

二、試片準備

1、應先清潔並確定無灰塵油污等附著物，嚴禁磁性試片。

2、不能使用揮發性物質(如酒精)或其他無法在真空中穩定的物質(如含結晶水的物質、高分子聚合物)。

3、使用銀膠或碳膠等黏著劑需先在高溫下烘烤或先置於其他真空中除去揮發性物質。

4、嚴禁用手去觸摸試片或其他真空組件，以確保真空室不被污染。

5、試片需牢固於載台上，載台及試片應予指定規同高且不得超過。

6、試片載台需自備，本所可外借載台，但須登記並使用後歸還。

備註：

SEM 試片載台直徑 2.5 cm

EBSD 試片載台直徑 1.5 cm

三、收費標準 

財政部來函課徵營業稅，本校貴重儀器服務案性質係屬技術服務案之類別。故據以辦理本校貴重儀器服務案繳納營業稅事宜，應依規課徵營業稅5%。