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穿透式電子顯微鏡 JEM2100F
Resolution:
Point image: 0.23 nm
Lattice image: 0.10 nm
STEM BF Lattice image: 0.2 nm
Acceleration Voltage: 80, 100, 120, 160, 200 kV
Emitter type: ZrO/W(100) Schottkey type
Vacuum Pressure: 10-8 Pa order
Tilt Angle: (X) ± 35 deg; (Y) ± 30 deg
Solid Angle: 0.13 sr (30 mm2)
Take-off Angle: 25 deg
CCD : Gatan Model 1095 OneView Camera (4096 x 4096 pixels)
EDS : OXFORD Ultim Max TEM. (new low-profile 80 mm2 sensor )
儀器性能：
1.具有掃描及穿透功能，可觀察材料微細組織，晶體結構及缺陷。
2.微區繞射分析(Nano Beam Diffraction)，鑑定結晶材料微結構。
3.高解析(HREM)，增強訊號並放大影像分析結晶材料微結構。
4.數位存取TEM/STEM影像。
5.化學元素成份定性及定量,分佈(Mapping)全能譜分析：B5~U92。
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