4月6日(水) FDRIE(FAST DRIE)のトレーニング

Post date: 2016/04/18 1:38:12

FDRIE(FAST DRIE)のトレーニングがSuperuserにより行われる．Superuserは他の研究室に所属している学生であり，NanolabのStaffではない．大体はNanolabのStaffが講習会を行うので，学生が行う講習会は日本らしさを感じる．参加者は7, 8名程度であった．

私がUCLAで使う機会は殆どないと思うが，後学のために参加しておいた．原理が同じだとして，色々な装置を見ると加工の可能性は広がる．時間自体は30分程度であり，極めて簡単なものであった．

これまでにシリコンウエハがエッチングされる結果を見ると，ウエハの中央と周辺でエッチレートには結構な差がある．エッチレートの差は，見た目でも分かる．なのでエッチストップ層を使わないと，ウエハ全体で安定して加工するのは難しいと思われる．

材料の規定は結構緩く，コンタミはあまり気にしていない．

プロセスには他にも制限があった．

1. 基本的にレシピは変えられない．エラーが出て，進行しなくなるから．
2. 10分がエッチング時間の上限である．チャンバ内の温度が上がりやすいから，長時間のエッチングはできない．

長時間エッチングができないというのは，一つ厄介な問題である．何回かに分割して行う必要があり，生産性を阻害するからである．

なかなか他機関にて，違う装置（DRIE）の使い方を見て，覚える機会はない．日本のDRIEとも比較できる機会が持てて，興味深い．