H20239謝亞序

H20132蔣承諺

H20213劉家瑜

國家同步輻射研究中心

本實驗利用臨場摻雜將鋁摻雜進氧化鋅中，形成同時具備高導電性，高導電度、低折射率的摻鋁氧化鋅材料。此材料成長在n型矽基板上會形成蕭特基接面，大幅降低光對於特定波段的反射率。此種透明導電電極可以簡化光學元件的結構，透過ALD精準控制薄膜厚度能使元件對特定波段具有特別高的敏感度，實現偵測不同光的目標。