不同晶體方向之藍寶石基板對MoS₂生成情形之影響
H202 12 張嘉恩
H202 01 毛若琁
H206 08 陳昕妮
陽交大材料學系
楊朝堯 教授
指導助教:詹鈁嵋、余汶臻
本研究旨在探討不同晶體方向之藍寶石基板(Al₂O₃)對單層二硫化鉬(MoS₂)在成長形貌與結晶品質方面產生的影響。藉由化學氣相沉積法(CVD),我們於三種特定切割角度的藍寶石基板上進行MoS₂的成長,分別為:C/A 0 DEG、C/A 1 DEG 及 C/M 0.2 DEG