Fabricación de micro-electrodos de Grafeno

Recientemente las investigaciones se han centrado en la estructura bidimensional conocida como grafeno, debido a los descubrimientos que se han obtenido en dicho material. Se sabe de la dificultad de dar formas geométricas específicas a los materiales con base en cualquiera de los alótropos de carbono. Es por esto que surge la motivación de utilizar un proceso basado en tecnología Carbon-MEMS, el cual parte de un precursor polimérico que se puede usar en procesos fotolitográficos micro estructurables, los cuales son escalables a procesos que eventualmente se pueden implementar en procesos industriales

En este trabajo realizado durante la maestría, se describe el proceso de fabricación de micro-electrodos grafíticos con base en tecnología Carbon-MEMS, en combinación con un proceso difusivo a través de una capa delgada de níquel.