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한국반도체학술대회(KCS 2024) 발표 수행 (2024.01.24~26)

2024년 01월 24일~26일동안 경주화백컨벤션센터에서 제31회 한국반도체학술대회가 개최되었습니다.

박사과정 이정민 학생은 Oral 발표를, 석박통합과정 권용주, 김혜경, 학부연구생 오지우, 김우혁 학생은 Poster 발표를 진행하였습니다.

발표 제목은 아래와 같습니다.

이정민: "Enhanced Deposition Selectivity of High-k Dielectrics by Vapor-Dosed Self-Assembled Monolayer Inhibitors Combined with Selective Lift-Off"

권용주/김우혁: "Improved DRAM eletrode/dielectric interface properties using Nb2O5 and Ta2O5 ultrathin layer"

김혜경: "Develop Behavior of Metal Organic Chemical Vapor Deposited Sn-based Inorganic Dry Resist for Next-generation EUV Lithography"

오지우: "Area-Selective Atomic Layer Deposition of Al2O3 Thin Films for Metal versus Dielectric Selectivity Using Vapor-Dosed Alkanethiol"