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PacSurf 2024 국제학회 발표 수행 (2024.12.09~12)

2024년 12월 09일~12일동안 미국 하와이 Waikoloa Beach Marriott Resort and Spa에서 PacSurf 2024 국제학회 (AVS Pacific Rim Symposium on Surfaces, Coatings and Interfaces)가 개최되었습니다.

석박통합과정 이서현 학생은 oral 발표, 석박통합과정 오지우 학생은 poster 발표를 진행하였습니다.

발표 제목은 아래와 같습니다.

이서현: Advanced Atomic Level Patterning Process by Area Selective Atomic Layer Deposition integrating Atomic Layer Etching

오지우: Enhanced Oxide versus Nitride Selectivity in Area-Selective Atomic Layer Deposition of SiO2 Thin Films Combining Small Molecule Inhibitors with Atomic Layer Etching