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KISM 2024 국제학회 발표 수행 (2024.11.11~15)

2024년 11월 11일~15일동안 부산 파라다이스 호텔에서 제3회 KISM 2024 국제학회 (Korean International Semiconductor Conference on Manufacturing Technology 2024)가 개최되었습니다.

김우희 교수님께서는 Nano Thin Film Deposition 분과 좌장 역할을 수행해주셨고, 석박통합과정 김혜경, 김정태 학생은 Poster 발표를 진행했습니다.

발표 제목은 아래와 같습니다.

김혜경: Low-Temperature Atomic Layer Deposition of High-Quality SiO2 Films Using Catalyst and In-situ Ozone Treatment

김정태: Atomic Layer Etching of High-k Oxides with Fluorination and Ligand-Exchange Mechanism