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KISM 2022 국제학회 Best Paper Award 수상(2022.11.16)

2022년 11월 16일, 부산 파라다이스 호텔에서 개최된 KISM 2022 국제학회에서 이정민, 이정빈 학생이 발표한 논문이 Nanoscale Thin Films Deposition 분과 우수논문으로 선정되어 수상하였습니다.

논문제목: Inherently Area-Selective Atomic Layer Deposition of Device-Quality Hf1-xZrxO2 Thin Films through Catalytic Local Activation

저자:  Jeong-Min Lee, Hyo-Bae Kim, Ji-Hoon Ahn, and Woo-Hee Kim*

논문제목: Plasma-enhanced Atomic Layer Etching of SiO2 Using β-Diketonate Precursor

저자:  Jeongbin Lee and Woo-Hee Kim*

 축하합니다ㅎㅡㅎ