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KISM 2022 국제학회 발표 수행 (2022.11.13~16)
KISM 2022 국제학회 발표 수행 (2022.11.13~16)
2022년 11월 13일~16일동안 부산 파라다이스 호텔에서 제1회 KISM 2022 국제학회 (Korean International Semiconductor Conference on Manufacturing Technology 2022)가 개최되었습니다.
김우희 교수님께서는 Nanoscale Thin Film Deposition 분과 좌장 및 'Inherently Area Selective Atomic Layer Deposition Toward Self-Aligned Atomic Level Patterning'을 주제로 발표를 진행해주셨고, 박사과정 이정민 학생은 Oral 발표, 이정빈 학생은 Poster 발표를 진행했습니다.
발표 제목은 아래와 같습니다.
이정민: Inherently Area-Selective Atomic Layer Deposition of Device-Quality Hf1-xZrxO2 Thin Films through Catalytic Local Activation
이정빈: Plasma-enhanced Atomic Layer Etching of SiO2 Using β-Diketonate Precursor
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