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IITC/MAM 2023 국제학회 발표수행 (2023.05.22~25)

2023년 5월 22일~25일 동안 독일 드레스덴 Bilderberg Bellevue에서 IITC/MAM 2023 (2023 IEEE International Interconnect Technology Conference & Materials for Advanced Metallization Conference) 국제학회가 개최되었습니다.

우리 연구실에서는 박사과정 이정민 학생과 석박통합과정 박하늘, 오지은 학생이 참석하여 Poster 발표를 진행하였습니다.

발표 제목은 아래와 같습니다.

이정민: Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ruthenium Thin Films by Chemo-Selective Adsorption of Short Alkylating Agents

박하늘/오지은: Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ruthenium Thin Films Using Aldehyde Inhibitors