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ALD/ALE 2024 국제학회 발표 수행 (2024.08.04~07)

2024년 8월 04일~07일동안 핀란드 헬싱키 Messukeskus에서 제24회 ALD/ALE 2024 국제학회 (24th International Conference on Atomic Layer Deposition, 11th International Atomic Layer Etching Workshop)가 개최되었습니다.

우리 연구실에서는 박사과정 이정민 학생이 참석하여 poster 발표를 진행하였습니다.

발표 제목은 아래와 같습니다.

이정민: Selective Metal Blocking Using Vapor-Phase Self-Assembled Monolayers for Area-Selective Atomic Layer Deposition of Dielectric Thin Films