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2023년 2월 13일-15일, 강원도 하이원 그랜드호텔에서 개최된 제30회 한국반도체학술대회에서 이정민 학생이 발표한 포스터 논문이 Thin Film Process Technology 분과의 현장우수포스터로 선정되어 수상하였습니다.

논문제목: Area-Selective Atomic Layer Deposition of High-k Dielectrics by Vapor-Dosed Phosphonic Acid Inhibitors Combined with Selective Lift-Off

저자:  Jeong-Min Lee, and Woo-Hee Kim*

축하합니다!