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2022 한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회 우수논문상 수상(2022.05.27)

2022년 5월 27일, 인하대학교 항공우주융합캠퍼스에서 개최된 2022 한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회에서 이정민 학생이 발표한 논문이 우수논문으로 선정되어 수상하였습니다.

논문제목: Inherently Area-Selective Atomic Layer Deposition of Device-Quality Hf_1-xZr_xO₂ Thin Films through Catalytic Local Activation

저자: Jeong-Min Lee, Hyo-Bae Kim, Ji-Hoon Ahn, and Woo-Hee Kim*

축하합니다ㅎㅡㅎ