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2022 한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회 발표 수행 (2022.05.27)
2022 한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회 발표 수행 (2022.05.27)
2022년 5월 27일, 인하대학교 항공우주융합캠퍼스에서 2022 한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회가 개최되었습니다.
이번 춘계학술대회에서는 박사과정 이정민, 이정빈, 석박통합과정 이서현 학생이 Poster 발표를 진행하였습니다.
발표 제목은 아래와 같습니다.
이정민: "Inherently Area-Selective Atomic Layer Deposition of Device-Quality Hf1-xZrxO2 Thin Films through Catalytic Local Activation"
이정빈: "Area-Selective Atomic Layer Deposition Using Vapor Dosing of Short-Chain Alkanethiol Inhibitors on Metal/Dielectric Surfaces"
이서현: "Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ru Thin Films Using Self-Assembled Monolayers with Different Alkyl Chain Lengths"
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