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2022년 1월 24일-26일, 강원도 하이원 그랜드호텔에서 개최된 제29회 한국반도체학술대회에서 이서현 학생이 발표한 포스터 논문이 Thin Film Process Technology 분과의 현장우수포스터로 선정되어 수상하였습니다.

논문제목: Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ru Thin Films Using Phosphonic Acid Self-Assembled Monolayers with Different Alkyl Chain Lengths

저자: Seo-Hyun Lee, Jeong-Min Lee, and Woo-Hee Kim*

축하합니다!