☑️ 연구 과제 수행 이력 (책임 연구 및 참여 연구 과제 포함)
ㆍ 2023 – present (GNU, 반도체공학과)
‘ Low-GWP (저-지구온난화지수) 가스 기반 식각 공정 최적화를 위한 공정 및 장비 연구 ’
‘ TSV 공정 개선을 위한 혼합형 PEALD, RIE 장비 개발 ’
ㆍ 2021-2023 (KERI / Microwave plasma , PEALD )
‘원자층 단위 공정 혁신을 위한 위상 제어 MWP(Microwave Plasma) 기반의 PEALD 공정 및 장비 연구
ㆍ 2020 (SAMSUNG/ Etching)
‘대면적 공정이 가능한 유도 결합 플라즈마 식각 장치 개발 및 공정 최적화를 위한 가상 식각 장비 시뮬레이션 연구’
ㆍ 2017-2019 (SK Hynix / Implantation)
‘고효율, 고성능, memory effect free 이온 주입 공정이 가능한 이온 빔(플라즈마) 소스 개발 및 최적화’
ㆍ 2015-2016 (LG / PECVD)
‘고효율 SiNx:H 박막 증착이 가능한 초고주파 플라즈마 장비 개발 및 공정 연구’
ㆍ 2013-2015 (SEMES / Etching)
‘식각 공정 분석을 위한 wafer 형태 multi-port Radical 밀도 측정 장비 개발 ’