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자장여과아크증발원 (Filtered Cathodic Vacuum Arc source, FCVA):
자장여과아크증발원 (Filtered Cathodic Vacuum Arc source, FCVA):
- 고이온화율의 아크 방전 기반의 고밀도 DLC (ta-C) 성막
- 저온(80℃ 이하) 공정이 가능하며 박막 손상 최소화 공정
• Black diamond (BD) 1호기
• Black diamond (BD) 1호기
주요 기능 및 특징 : - 선형이온소스 및 UBM Sputter 장착을 통한 표면 세정 및 Buffer layer 형성 연속 공정 - 전처리 및 코팅 공정 Data 수집 기능 및 부분적 자동화 기능 장착 - 총 12 개의 Target 및 4개의 Margent filter 통한 고속 대면적 증착 공정이 가능한 장비활용 분야 : - 자동차 등 수송기기의 엔진 부품에 활용 - 비철 및 복합 소재의 가공용 공구의 이형성 코팅 - 내열성 및 내마모성 금형 부품에 활용 - 내오염성 표면 제공하는 바이오 센서 및 생체의학 분야
• Black diamond (BD) 2호기
• Black diamond (BD) 2호기
주요 기능 및 특징 : - 원형 이온소스 및 Sputter 를 이용한 전처리 및 Buffer layer 연속 공정 가능 - 절삭 공구(앤드밀)의 고경도 및 저융착 박막 Coating 장비 활용 분야 : - 자동차 등 수송기기의 엔진 부품에 활용 - 비철 및 복합 소재의 가공용 공구의 이형성 코팅 - 내열성 및 내마모성 금형 부품에 활용 - 내오염성 표면 제공하는 바이오 센서 및 생체의학 분야
• Black diamond (BD) 3호기
• Black diamond (BD) 3호기
주요 기능 및 특징 : - 선형이온소스 및 UBM Sputter 장착을 통한 표면 세정 및 Buffer layer 형성 연속 공정 - 전처리 및 코팅 공정 Data 수집 기능 및 부분적 자동화 기능 장착 활용 분야 : - 자동차 등 수송기기의 엔진 부품에 활용 - 비철 및 복합 소재의 가공용 공구의 이형성 코팅 - 내열성 및 내마모성 금형 부품에 활용 - 내오염성 표면 제공하는 바이오 센서 및 생체의학 분야
• Black diamond (BD) 4호기
• Black diamond (BD) 4호기
주요 기능 및 특징 : - 선형이온소스 및 UBM Sputter 장착을 통한 표면 세정 및 Buffer layer 형성 연속 공정 - 전처리 및 코팅 공정 Data 수집 기능 및 부분적 자동화 기능 장착 활용 분야 : - 자동차 등 수송기기의 엔진 부품에 활용 - 비철 및 복합 소재의 가공용 공구의 이형성 코팅 - 내열성 및 내마모성 금형 부품에 활용 - 내오염성 표면 제공하는 바이오 센서 및 생체의학 분야
• Black diamond (BD) 6호기
• Black diamond (BD) 6호기
주요 기능 및 특징 : - ta-C 공정 기초 테스트 및 물성 평가 공정 장비 (Gas & Bias & Power에 따른 박막 기초 평가) - Load Lock Chamber을 이용한 간편한 시편 장착 및 이동 가능 - 마찰 마모 특성 및 내구성 향상 코팅 공정 장비
활용 분야 : - 내열성 및 내마모성 금형 부품에 활용 - 내오염성 표면 제공하는 바이오 센서 및 생체의학 분야
활용 분야 : - 내열성 및 내마모성 금형 부품에 활용 - 내오염성 표면 제공하는 바이오 센서 및 생체의학 분야
양극층 이온원 (Anode-Layer Ion Source, ALIS):
양극층 이온원 (Anode-Layer Ion Source, ALIS):
- 고에너지-고밀도 플라즈마를 활용한 고경도 수소화 DLC 성막
- 고에너지의 Collimated mode와 저에너지의 Diffused mode의 방전으로 물리적 및 화학적 표면처리 가능
• Black diamond (BD) 5호기
• Black diamond (BD) 5호기
주요 기능 및 특징 : - 선형이온소스 및 UBM Sputter 장착을 통한 표면 세정 및 Buffer layer 형성 연속 공정 - 전처리 및 코팅 공정 Data 수집 기능 및 부분적 자동화 기능 장착 - 표면 결함이 적은 100 mm 이상의 대면적 코팅 가능 활용 분야 : - 광학 렌즈의 내구성 DLC 코팅 - 반도체 부품의 정전기 소산 DLC 코팅
금속아크증발원 (Arc ion plating):
금속아크증발원 (Arc ion plating):
- 고이온화율의 아크 방전 기반의 치밀 금속질화 세라믹 (TiN, CrN, TiAlSiN 등) 성막
- 저온 (80℃ 이하) 공정이 가능하며 박막 손상 최소화 공정
• Metal Arc Tester
• Metal Arc Tester
주요 기능 및 특징 : - 선형이온소스 통한 표면 세정 공정 - 원형 아크 소스를 통한 금속 질화물 코팅의 기초물성평가 - 유지보수 용이성을 위한 구조 단순화 활용 분야 : - 원형 아크타겟 소모효율 평가 - 아크소스 코팅공정 최적화 연구
• Metal Arc Simulator
• Metal Arc Simulator
주요 기능 및 특징 : - 선형이온소스 통한 표면 세정 공정 - 전처리 및 코팅 공정 Data 수집 기능 및 자동화 기능 장착 - 4개 아크소스를 이용하여 다양한 코팅 설계 가능
활용 분야 : - 아크소스 코팅공정 최적화 연구 - 절삭공구용 고경도-고인성 질화 코팅
활용 분야 : - 아크소스 코팅공정 최적화 연구 - 절삭공구용 고경도-고인성 질화 코팅
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