Kiểm tra profile bề mặt

Khi cần xác định độ nhám bề mặt và cấu trúc hình học lớp bề mặt, công nghệ Alpha step và AFM được sử dụng phổ biến. Độ chính xác và độ phân giải của kết quả quét từ AFM lớn hơn kết quả từ Alpha step nhiều. Kết quả quét Alpha step là biên dạng 2D, trong khi đó kết quả quét từ AFM là 2D và 3D.

Ảnh: Kết quả quét từ a) Alpha step và b) AFM

Kết quả quét AFM có thể xác định được kích thước của lỗ đến hàng chục nanometter. Hiện nay, đã có một số thiết bị quét AFM không tiếp xúc, cho phép xác định được biên dạng của các chất dễ phá vỡ và chất lỏng.