IMS Lab

Intelligent Mechatronic Systems Lab

Introduction of IMS Lab.

기계공학부 지능기전시스템 실험실 학생들의 성과가 눈에 띈다. 지난해 ‘제7회 정밀공학 창의경진대회’ 특별상, ‘제12회 전국학생설계경진대회’ 대상 (과학기술정보통신부 장관상)을 받은 두 팀과 안형준 지도교수를 만나 그 저력을 물었다. 기사고화질

반도체 장비용 정밀 스테이지 모션 제어: Precision motion control for semiconductor manufacturing equipment

반발력 보상 기구 기반 저진동 초정밀 모션제어
related project: 산업통상자원부 2021년도 소재부품기술개발사업, 총괄과제: 차세대 고집적 반도체 생산용 12인치 웨이퍼 절단을 위한 1,500mm/s급 GAL(Grinding After Laser)공정용 스텔스 다이싱 장비 개발(수요기관 삼성전자) 중 2세부과제: (주)져스텍의 "초정밀 웨이퍼 절단을 위한 저진동 고속 스테이지 개발", 연구기간, 21.07.01- 24.12.31

반도체 장비용 능동 제진기 개발: Active vibration isolator for for semiconductor manufacturing equipment

반도체 장비용 능동 공압 제진기의 제어 기법 개발
related project: 중소벤쳐기업부 2021년도 하반기 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략), (주)에이티에스 "3way 공압 솔레노이드 밸브 개발을 통한 진동 제어시스템 적용" 연구기간 21.09.1-23.09.31

센서: Displacement sensor for magnetic bearing

마그네틱 베어링을 채용한 수열원 히트펌프 기술 개발(2세부)을 엘지 전자와 수행, 마그네틱 베어링의 변위 센서 성능 개선
related project: 에너지기술평가원의 "수열냉난방 및 재생열 하으브리드 시스템 기술개발 및 실증" 한국산업기술진흥원 " 폐열 발전을 위한 고속 자기부상 발전기 개발"

센서 Sensor : Displacement sensor for magnetic bearing & accelerometer for active vibration isolator

마그네틱 베어링을 채용한 수열원 히트펌프 기술 개발(2세부)을 엘지 전자와 수행, 마그네틱 베어링의 변위 센서 성능 개선
related project: 에너지기술평가원의 "수열냉난방 및 재생열 하으브리드 시스템 기술개발 및 실증" 한국산업기술진흥원 " 폐열 발전을 위한 고속 자기부상 발전기 개발"
능동 공압 제진기용 가속도 센서 개발
related project: 중소벤쳐기업부 2021년도 하반기 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략), (주)에이티에스 "3way 공압 솔레노이드 밸브 개발을 통한 진동 제어시스템 적용" 연구기간 21.09.1-23.09.31

구동기 Actuator : 자기베어링(magnetic bearing), 반발토크 보상 모터 (RTC motor)

related project: 에너지기술평가원의 "수열냉난방 및 재생열 하으브리드 시스템 기술개발 및 실증" 한국산업기술진흥원 " 폐열 발전을 위한 고속 자기부상 발전기 개발"

제어 Control : 마그네틱 베어링 전류 및 변위 제어 (control for magnetic bearing) , 정밀 모션 제어 (precision motion control)

related project: 에너지기술평가원의 "수열냉난방 및 재생열 하으브리드 시스템 기술개발 및 실증(Kwater 주관)", 한국산업기술진흥원 " 폐열 발전을 위한 고속 자기부상 발전기 개발((주) 아이소 주관, 한중국제공동기술 개발)"
related project: 산업통상자원부 2021년도 소재부품기술개발사업, 총괄과제: 차세대 고집적 반도체 생산용 12인치 웨이퍼 절단을 위한 1,500mm/s급 GAL(Grinding After Laser)공정용 스텔스 다이싱 장비 개발(수요기관 삼성전자) 중 2세부과제: (주)져스텍의 "초정밀 웨이퍼 절단을 위한 저진동 고속 스테이지 개발", 연구기간, 21.07.01- 24.12.31
related project: 중소벤쳐기업부 2021년도 하반기 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략), (주)에이티에스 "3way 공압 솔레노이드 밸브 개발을 통한 진동 제어시스템 적용" 연구기간 21.09.1-23.09.31

정밀기계설계 (Precision machine design)

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