Apparatus

多元成膜装置

【モジュール式・QCM/加熱機構搭載】

卓上走査型電子顕微鏡

【CeB6電子銃・プログラマブル観察】

IRイメージ炉（一部特注）

【プログラマブル非接触集光加熱装置】

反応管状炉

【雰囲気加熱電気炉】

加熱・電場in-situ TEM観察用ホルダー

放電プラズマ焼結装置（一部特注）

【加圧・通電加熱粉体焼結装置】

遊星ボールミリング装置

【粉末創製用】

粉末成形用プレス機

【焼結前処理用】

4端子プローバー

【高温試験・拡散試験】

4端子プローバー

【室温・精密電気特性測定】

実体顕微鏡

【簡易観察】

倒立顕微鏡

横型簡易引張試験機（特注）

超純水装置

陽極接合装置（特注）

【ガラス・Siの接合用】

ウェッジボンダー

【デバイス端子配線形成】

超小型スポット溶接機

【電子部品工作用】

超音波ディスクカッター

【透過型電子顕微鏡試料作製用】