最近ニュースで"半導体/はんどうたい"とよく耳にしますが、実物を見たことがない方は非常に多いと思います。弊学のオープンキャンパスで展示していますので、ぜひお越しください。研究室で試作した電子デバイスも一緒に展示しています。

※研究室では300mmウェハの半導体は作れません。。。

酸化物半導体材料専用機としてプラズマALD装置を導入しました。

コンパクトで使いやすい装置です。ガンガン実験していきます。

本装置は日本で第一号機です。

ANRIC Technologies.社製,  型式 : AT-650P 

国内ではALD Japan殿が代理店をしています。

装置の見学希望などがあればお問い合わせください。