❒ 2025年度

・2025/09/19

　共同研究先の東京大学殿のGAA型多結晶IGO-FETに関する論文がIEEE Trans. Electron Device誌に掲載されました。

　"A Gate-All-Around Oxide Semiconductor FETs With Selectively Crystallized InGaOx Channel for Performance and Reliability Improvement"

・2025/09/16

　SSDM2025で学生が発表を行いました。 

　「Reduction Parasitic Resistance in Polycrystalline Ga-Doped In₂O₃ Channel Field-Effect Transistors by Using a Buffer Layer of In₂O₃-Based Conductive Oxides」

・2025/09/14

　日本一の芋煮会フェスティバルに参加しました。

・2025/09/07-08

  　第86回応用物理学会秋季学術講演会で発表を行いました。 また、共同研究先の産総研殿と東京大学殿も発表しました。

　「原子層堆積法で成膜した多結晶In₂O₃およびGa添加In₂O₃チャネル電界効果トランジスタにおける電界効果移動度の支配要因に関する考察」

・2025/08/xx

　最近の研究成果を企業2社に紹介しました。

・2025/08/28

　応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 VLSI特集で招待講演を行いました。

「後工程向けFETと高いプロセス親和性を有する真性移動度120 cm²/Vsを超える原子層堆積法で成膜した多結晶Ga-doped In₂O₃ (poly-IGO)ナノシート」

・2025/08/24-25

　高専研究国際シンポジウム KRIS2025に出展しました。

・2025/08/06

電子情報通信学会シリコン材料・デバイス (SDM) 研究会で招待講演を行いました。

「原子層堆積法で成膜した真性移動度120 cm²/Vsを超える多結晶Ga-doped In₂O₃ナノシート」

・2025/07/xx

　30代に突入しました。

・2025/07/18

こそこそ作成していた個人ホームページを公開することにしました。

・202507/07

一週間以上発熱していましたが、胃腸炎でした。なかなか良くなりません。。。

・202507/04

電気学会 最先端ナノエレクトロニクス技術調査専門委員会 VLSIシンポジウム特集で招待講演を行いました。

発熱中で現地に行けませんでした。

・202507/04

AM-FPD25で招待講演を行いました。発熱中で現地に行けませんでした。

・2025/06/xx

　企業へ最近の研究結果を紹介しました。

・2025/06/08-12

VLSI symposium 2025で発表しました。

また、共同研究先の東京大学殿が発表 (ハイライト論文に選出) しました。

・2025/06/06

2件の研究成果プレスリリースされました。VLSI symposium 2025 で発表予定です。

　・次世代半導体デバイス向け高性能/高機能な多結晶酸化物半導体材料 poly-IGO ナノシートを開発 

　・ゲートオールアラウンド型 ナノシート酸化物半導体トランジスタを開発

・2025/05/01

三次元集積デバイス向け酸化物半導体と原子層堆積に関する論文がAPL Materials誌に掲載されました。オープンアクセスです。

"Ternary amorphous oxide semiconductor of In–Ga–O system for three-dimensional integrated device application"

・2025/04/01

2025年度が始まりました。

・2025/03/24-26

19th Internatinal TFT conferenceにLocal Committeeとして参加しました。

学会運営とカメラマンを頑張りました。

また、学生2名が発表しました。学生がポスター賞を受賞しました。おめでとうございます。

協賛いただいた方々、ご参加いただいた皆様へお礼申し上げます。

・2025/03/14-17

第72回 応用物理学会 春季学術講演会で発表しました。また、学生と共同研究先の産総研殿が発表しました。

・2025/02/28

科研費 (若手研究 代表) と 科研費 (基盤研究B 分担) が採択されました。

・2025/02/14

プラズマ原子層堆積装置 (AT-650P) を導入しました。本装置は日本で第一号機です。

・2025/01/27

透明酸化物光・電子材料研究会 第11回研究会 「透明アモルファス酸化物半導体 (TAOS) の新たな展開」で依頼講演を行いました。

・2025/01/06

多結晶酸化物半導体トランジスタの移動度解析に関する論文がAppl. Phys. Express誌に掲載されました。オープンアクセスです。

"Intrinsic field-effect mobility in thin-film transistor with polycrystalline In₂O₃ channel based on transfer length method"

・2024/12/28

実験中にスパッタカソードが故障しました。ピンチです。このままでは2025年に行けません。

・2024/12/10

北海道から帰ってきたら40℃の高熱が出てダウンしました。

・2024/12/4

IDW24で招待講演を行いました。

・2024/12/xx

ワークショップで招待講演を行いました。

・2024/11/28-29

薄膜材料デバイス研究会に参加しました。

・2024/11/13

MNCで学生が発表しました。

・2024/11/21

椎間板ヘルニアと診断されました。

・2024/10/18

共同研究先の東京大学殿の短チャネルALD-IGO FETの解析に関する論文がIEEE Trans. Electron Device誌に掲載されました。オープンアクセスです。

"High-Field Transport and Statistical Variability of Nanosheet Oxide Semiconductor FETs With Channel Length Scaling"

・2024/10/17-20

　AP-ALD2024@Chinaで招待講演を行いました。

・2024/09/13

　第85回応用物理学会秋季学術講演会で招待講演を行いました。

・2024/08/22

　企業で酸化物半導体に関する講義を行いました。

・2024/04/01

　2024年度が始まりました。

・2024/03/14

共同研究先の東京大学殿のALD-IGOに関する論文がIEEE Trans. Electron Device誌に掲載されました。オープンアクセスです。

”A nanosheet oxide semiconductor FET using ALD InGaOx channel for 3-D integrated devices”

・2024/03/14-17

第71回 応用物理学会 春季学術講演会で発表しました。

・2024/01/31-02/02

電子デバイス界面テクノロジー研究会で発表しました。若手奨励賞/安田幸夫賞 (口頭発表)をいただきました。

・2024/01/01-03

冬休み返上で測定しました。

・2023/12/29-31

冬休み返上で測定しました。

・2023/12/09-10

MRM2023に参加しました。

・2023/12/06-08

IDW23に参加しました。

・2023/11/09-10

薄膜材料デバイス研究会に参加しました。

・2023/10/20

　学内で酸化物半導体トランジスタに関する講義を行いました。

・2023/10/20

　学内のセンターで研究紹介を行いました。

・2023/09/25

　学位授与式で学生 (武〇さん) が博士になりました。熊本から帰ってきたらコロナに感染したため学位授与式に参加できませんでした。

・2023/09/19-23

　第84回応用物理学会秋季学術講演会＠熊本に参加しました。

　学生3名が発表しました。また、共同研究先の東京大学殿が発表しました。　

・2023/09/17

　研究室のOBと一緒に芋煮会@山形に参加しました。

・2023/08/22-25

　iMiD2023@韓国で招待講演を行いました。海雲台でJeong先生と海に突っ込みズボンが濡れました。

・2023/08/01

　企業で酸化物半導体に関する講義を行いました。

・2023/07/24

博士論文公聴会がありました。

・2023/06/13-15

VLSI symposium 2023 に参加しました。共同研究先の東京大学大学殿が発表しました。

・2023/06/06

共同研究先の東京大学殿の研究成果がプレスリリースされました。VLSI symposium 2023 で発表予定です。

　原子層堆積法を用いたナノシート酸化物半導体トランジスタを開発

・2023/05/14-18

　ULSIC vs TFT8＠北海道 で招待講演を行いました。

・2023/04/01

　2023年度が始まりました。奈良先端大に着任しました。