光学特性評価

目的

本プロジェクトでは、半導体の光学特性評価や、光を使ったデバイス（真空紫外発光素子、光導波路、分布ブラッグ反射鏡（DBR））の作製を行っています。

研究計画

(AlGa)2O3の光学特性評価（透過率、カソードルミネッセンス、フォトルミネッセンス、分光エリプソメトリ、XPS）、真空紫外発光素子やDBRの作製を行っています。

また、GaNを用いたトポロジカルフォトニック結晶の作製を行っています。