研究室概要

本研究グループでは、「省エネ」「SDGs: Sustainable Development Goals（持続可能な開発目標）」に資する機能性材料の研究開発を行っています。具体的には、高効率電力変換パワーデバイス、超高周波デバイス、深紫外光源などへの応用を目的とした次世代半導体の研究開発を推し進めています。次世代半導体は工業的には化学気相成長（Chemical Vapor Deposition, CVD）法により作製されますが、そのプロセスはいくつかの素過程が絡み合う複雑系です。本研究グループでは、CVDプロセスをそのまま丸ごと仮想空間に再現するシミュレーション技術（eXtensible Simulator Suite for CVD, eXS2-CVD）を開発しています。材料情報学分野、分野融合室とのコラボレーションによりeXS2-CVDを活用した機械学習による『プロセス・インフォマティクス』の新領域を開拓します。

近未来の新たな生活様式、産業活動スタイル（Society 5.0）への移行が推し進められている折から、我々人類は新型感染症の発生・拡大を経験し、その取組みの社会的意義が益々高まっています。材料開発の分野においてもAIを活用した「マテリアル革新力強化」の在り方が問われています。『プロセス・インフォマティクス』の構築は、これからの時代に即した重要な研究テーマの一つです。