Patent

 ISSUED

1. 문지훈, 강상우, “Apparatus and Method for High-Accuracy Optical Particle Measuring using Laser Power Scanning", 대만특허 202221300, 2022.10.06

2. 강상우, 문지훈, 김종호, “오염 입자 측정용 광 조사 장치 및 이를 이용한 오염 입자 측정 장치”, 대한민국특허 10-2235245, 2021.03.29

3. 문지훈, 강상우, “레이저 파워 스캐닝을 이용한 고정확 광학식 입자 측정 장치 및 입자 측정 방법", 대한민국특허 10-2227433, 2021.03.08

4. 강상우, 문지훈, 박혜지, 전소연, “보호층을 이용한 패터닝 방법, 이를 이용한 소자 제조 방법”, 대한민국특허 10-2102308, 2020.04.20

5. J. Mun, S. –W. Kang, “METHOD FOR MANUFACTURING TWO-DIMENSIONAL TRANSITION METAL DICHALCOGENIDE THIN FILM”, Japan patent 06688949, 2020.04.09

6. 강상우, 문지훈, 김태완, “2차원 박리층을 이용하여 대상층을 기판에서 박리하는 방법”, 대한민국특허 10-2025724, 2019.09.20

7. 문지훈, 강상우, “2차원 소재의 직접증착용 고균일 유연기판의 제조방법”, 대한민국특허 10-1997512, 2019.07.02

8. 문지훈, 강상우, “단일공정에 의한 2차원 소재를 포함하는 신축소자의 제조방법”, 대한민국특허 10-1986117, 2019.05.30

9. J. Mun, S. –W. Kang, “METHOD FOR MANUFACTURING TWO-DIMENSIONAL TRANSITION METAL DICHALCOGENIDE THIN FILM", U.S. Patent 10,309,011 B2, 2019.09.04

10. 문지훈, 강상우, “고균일 2차원 전이금속 디칼코지나이드 박막의 제조 방법", 대한민국특허 10-1881304, 2018.07.18

11. 강상우, 문지훈, 김태완, 김종호, “고정확 실시간 미세 입자 크기 및 개수 측정 장치", 대한민국특허 10-1857950, 2018.05.09

12. 강상우, 송재용, 김태성, 문지훈, “2차원 전이금속 디칼코지나이드의 제조 방법“, 대한민국특허 10-1770235, 2017.08.16

13. 김태성, 김동빈, 문지훈, 강권판, 박윤규, “슬릿이 형성된 공기 역학 렌즈", 대한민국특허 10-1611686, 2016.04.05

14. 김태성, 김동빈, 문지훈, 강권판, 박윤규, “입자 포집 장치", 대한민국특허 10-1580040, 2015.12.17

15. 김태성, 김동빈, 문지훈, 강권판, 박윤규, “입자 측정장치", 대한민국특허 10-15533936, 2015.06.29

16. 김태성, 김동빈, 문지훈, 강권판, 박윤규, “입자 측정장치", 대한민국특허 10-15533935, 2015.06.29

17. 강상우, 신용현, 윤주영, 문지훈, 김동빈, 김태성, “유량조절장치 및 이를 이용한 입자 복합특성 측정장치", 대한민국특허 10-1442409, 2014.09.12

18. 문지훈, 김태성, “입자 발생장치", 대한민국특허 10-1435022, 2014.08.21

19. 강상우, 신용현, 김태성, 문지훈, 윤주영, “분리형 입자 집속 유닛을 가지는 입자복합특성 측정장치", 대한민국특허 10-1401742, 2014.05.23

20. 강상우, 신용현, 김태성, 문지훈, 윤주영, “입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정 장치", 대한민국특허 10-1378301, 2014.03.20

21. 강상우, 신용현, 김태성, 문지훈, 윤주영, “최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템”, 대한민국특허 10-1378293, 2014.03.20

22. 강상우, 신용현, 김영헌, 김태성, 문지훈, 이준희, 박현국, “입자복합특성측정장치”, 대한민국특허 10-1360891, 2014.02.04

23. 문지훈, 김태성, “광안내부를 구비하는 입자 측정 센서”, 대한민국특허 10-1268152, 2013.05.21

24. 문지훈, 김태성, “신호 분석을 통한 실시간 입자 측정 방법”, 대한민국특허 10-1225296, 2013.01.16

25. 문지훈, 김태성, “고효율 실시간 입자 측정 센서”, 대한민국특허 10-1171107, 2012.07.30

26. 문지훈, 김태성, “광 산란 방식 입자 측정 장치”, 대한민국특허 10-1132406, 2012.03.26

Filed

1.문지훈, 강상우, “빔 덤프 장치 및 이를 이용한 광 노이즈 저감 기능을 갖는 실시간 파티클 측정 장치”, 대한민국, 10-2023-0174073, 2023.12.05

2.문지훈, 강상우, 송정인, “고균일 3차원 계층구조를 가지는 전이금속 디칼코제나이드 박막의 제조 방법”, PCT, PCT/KR2023/00980, 2023.07.04

3.문지훈, 강상우, “실시간 파티클 측정 개수와 파티클 불량 사이의 상관성 분석 장치 및 그 방법”, 대한민국, 10-2023-0047351, 2023.04.11

4.문지훈, 강상우, “크기별 불순물 동시 측정이 가능한 압력 가변형 측정 장치, 및 이를 이용한 고진공 영역에서의 불순물 측정 방법과 저진공 영역에서의 불순물 측정 방법”, 대한민국특허, 10-2022-0137146, 2022.10.24

5.문지훈, 강상우, “광학 센서의 윈도우 오염 대응 장치 및 그 방법”, 대한민국특허 10-2022-0117747, 2022.09.19

6.문지훈, 강상우, “광학 윈도우 오염 방지 장치”, 대한민국특허 10-2022-0117746, 2022.09.19

7.문지훈, 강상우, “반사광 차단 기능을 갖는 광원 장치”, 대한민국특허 10-2022-0108787, 2022.08.30

8.문지훈, 강상우, “측정한계값 차이를 이용한 고정확 광학식 입자 측정 장치 및 그 방법”, 대한민국특허 10-2022-0108788, 2022.08.30

9.문지훈, 강상우, “디텍터 감도 차이를 이용한 고정확 광학식 입자 측정 장치 및 그 방법”, 대한민국특허 10-2022-0108786, 2022.08.30

10. 문지훈, 강상우, 백진욱, “에어로졸 촉매를 이용하여 2차원 나노소재의 결정립을 조절하는 방법”, 대한민국특허 10-2022-0106616, 2022.08.25

11. 강상우, 문지훈, 송정인, “고균일 3차원 계층구조를 가지는 전이금속 디칼코제나이드 박막의 제조 방법”, 대한민국특허 10-2022-0086109, 2022.07.13

12. Jihun Mun, Sang-Woo Kang, “Apparatus and Method for High-Accuracy Optical Particle Measuring using Laser Power Scanning”, Japan Patent 2022-521546, 2022.04.08

13. Jihun Mun, Sang-Woo Kang, “利用激光电流扫描的高精度光学颗粒测定装置及颗粒测定方法”, China Patent 202180005582.0, 2022.04.01

14. Jihun Mun, Sang-Woo Kang, “Apparatus and Method for High-Accuracy Optical Particle Measuring using Laser Power Scanning”, US Patent 17763279, 2022.03.24

15. 이효창, 김정형, 강상우, 김준오, 문지훈, 제갈원, “진공펌프 성능 유지 장치, 이를 구비하는 진공펌프 및 플라즈마 공정 시스템”, 대한민국특허 10-2022-0031110, 2022.03.13

16. 문지훈, 강상우, “입자의 3차원 분포 실시간 측정 장치, 및 입자의 3차원 분포 실시간 분석 장치”, 대한민국특허 10-2021-0170039, 2021.12.01

17. 문지훈, 강상우, “입자 측정용 광조사 장치 및 입자 측정 장치”, 대한민국특허 10-2021-0162189, 2021.11.23

18. 문지훈, 강상우, “레이저 파워 스캐닝을 이용한 고정확 광학식 입자 측정 장치 및 입자 측정 방법”, PCT PCT/KR2021/010552, 2021.08.10

19. 강상우, 김용규, 문지훈, “능동형 국부가열봉을 가진 웨이퍼 온도센서 보정기", 대한민국특허 10-2019-0139671, 2019.11.04

20. 강상우, 김용규, 권수용, 문지훈, 김태완, “확장된 검사 영역을 갖는 웨이퍼 센서, 및 이를 이용한 건식 공정 장치", PCT/KR2019/004934, 2019.04.24

Technology Transfer

1. 오염 입자 측정용 광 조사 장치 및 이를 이용한 오염 입자 측정 장치, ㈜라인텍, 100,000,000원+3.0%, 2022.10.12 ~ 2029.10.11 (2022.10.12)

2. 레이저 파워 스캐닝을 이용한 고정확 광학식 입자 측정 장치 및 입자 측정 방법, ㈜리얼센, 44,000,000원, 2022.03.03 ~ 2030.03.02 (2022.03.03)

3. 입자 복합특성 평가장치 제작기술, ㈜코셈, 50,000,000원 + 3%/10년, 2013.06.26~2023.06.25 (2013.06.23)

4. 광 소멸 방식 오염입자 측정 센서 기술, ㈜제우스, 4,300,000원, 2011.02.01~2012.01.31 (2010.12.20)