実験装置など

試作半導体デバイス評価

評価・ブレッドボード

エリアロボット歩行実験

工作作業卓

AFMと微小電流・ノイズ計測システム

多チャンネルアナログ信号計測システム

計測器群電子

オシロスコープ、顕微鏡

Siデバイス専用蒸着装置

Siデバイス専用ドライエッチング装置

Siデバイス専用電気炉