本實驗室為教學與研究型實驗室，為國內發展真空鍍膜與表面工程技術與應用之重要實驗機構。主要研發精密製造之先進表面工程與真空薄膜沉積的相關電漿分析與製程技術，包括真空硬質鍍膜、精密表面處理與功能性鍍膜製造等之相關教學與研究。促進產學研合作，精實表面工程與真空鍍膜技術與推廣產業化。