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陰極電弧沉積鍍膜系統(CAE)/產學合作 x 2
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電漿化學氣相沉積鍍膜系統(PECVD) x 1
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電漿光譜分析儀(OES) x 2
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快速退火熱處理爐(RTA) x 1
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高溫管型爐(1200 DEG. C) 氣相沉積系統 x 2
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衝擊疲勞壓痕測試儀(500 deg. C) x 2
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洛式壓痕薄膜附著力試驗機x 2
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薄膜硬度與機械性質量測儀 x 1
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球磨薄膜厚度量測儀 x 1
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多功能光學顯微鏡 x 1
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多功能刀具磨床 x 1
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慢速鑽石切割機 X 1
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