電漿與表面工程實驗室
Plasma and Surface Engineering Laboratory
研究室簡介 Introduction
研究室簡介 Introduction
本實驗室為教學與研究型實驗室,為國內發展真空鍍膜與表面工程技術與應用之重要實驗機構。主要研發精密製造之先進表面工程與真空薄膜沉積的相關電漿分析與製程技術,包括真空硬質鍍膜、精密表面處理與功能性鍍膜製造等之相關教學與研究。促進產學研合作,精實表面工程與真空鍍膜技術與推廣產業化。
本實驗室為教學與研究型實驗室,為國內發展真空鍍膜與表面工程技術與應用之重要實驗機構。主要研發精密製造之先進表面工程與真空薄膜沉積的相關電漿分析與製程技術,包括真空硬質鍍膜、精密表面處理與功能性鍍膜製造等之相關教學與研究。促進產學研合作,精實表面工程與真空鍍膜技術與推廣產業化。
教學目標 Teaching objectives
教學目標 Teaching objectives
表面工程與真空鍍膜技術的原理及設計製造 Surface Engineering and Vacuum Coatings
表面工程與真空鍍膜技術的原理及設計製造 Surface Engineering and Vacuum Coatings
真空硬質鍍膜設備架構之設計與操作 Design and Operation of Vacuum Deposition System
真空硬質鍍膜設備架構之設計與操作 Design and Operation of Vacuum Deposition System
離子氮化設備之原理與操作 Ion Nitriding
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鍍膜分析技術與性能量測方法 Analytical Techniques and Measurement
鍍膜分析技術與性能量測方法 Analytical Techniques and Measurement
研究方向 r/d fields
研究方向 r/d fields
表面工程技術 Surface Engineering
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奈米結構硬質鍍膜技術 Nanostructural Hard Coatings
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生醫與抗菌功能性鍍膜技術 Bio and Antibacterial Coatings
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高密度電漿真空陰極電弧蒸鍍源研製與磁場控制 High Density Plasma CAE and Magnetic Control
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電漿強化化學氣相沉積 PECVD
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離子植入技術 Ion Implantation
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真空電漿製程系統與電漿分析 Vacuum Plasma Deposition System and Plasma Analyses
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另有更多實驗室介紹請連結左側選單頁面
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